特定用途傳感器

產(chǎn)品屬性

所屬分類(lèi)：傳感器
產(chǎn)品編號：特殊用途傳感器
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發(fā)布日期：2020-08-19

產(chǎn)品概述

主要用于半導體及液晶制造工序檢測使用的藥液、純水等的液面或漏液、晶元匹配用光纖單元或LED等微小部品的落下檢測用光纖單元等特定用途的光學(xué)式傳感器系列。

主要用于檢測半導體?液晶制造時(shí)的露光、洗凈、熱處理工序所使用的藥液、純水等的液面、漏液，采用獨自的光學(xué)系實(shí)現了穩定檢測、省空間，支持失效保護。晶元匹配時(shí)使用的狹光光纖單元、LED等微小部品的落下檢測用光纖單元采用適合用途的光學(xué)設計及筐體設計，使高檢測性能與省空間得到了統一，減少了調整工時(shí)，也提高了維護性。

產(chǎn)品名/型號	用途	海外標準
管安裝液面光纖 HPF-T032/HPF-T034	用于罐液面的上下限檢測的2種檢測方式、對應失效保護。	-
放大器內置管安裝液面傳感器 HPQ-T Series	只需安裝在管上即可簡(jiǎn)單地檢測液面。
罐插入光纖 HPF-D027/HPF-D033	全樹(shù)脂構造物無(wú)金屬污染。
放大器內置漏液傳感器 HPQ-Dseries	放大器內置、不需吸紙，可對應多種液體。（酸?堿系藥液及IPA、純水、氟化液、全氟聚醚的漏液檢測）	* 詳情請向本公司銷(xiāo)售部門(mén)咨詢(xún)
放大器內置漏液傳感器 HPQ-DP Series	放大器內置、不需吸紙，可對應多種液體。（純水、工業(yè)水、氟化液、全氟聚醚的漏液檢測）
漏液傳感器 HPF-D040	PFA保護本體和纜線(xiàn)、省空間。采用光纖方式可在防爆環(huán)境使用。	-
小型部品通過(guò)檢測用光纖 HPF-T047	根據管徑匹配的適配器可提高了檢測穩定性	-
晶元匹配用光纖 HPF-T030	能可靠地檢測FOUP、開(kāi)放式盒內的300mm晶元	-