檢測部采用了本公司獨立開(kāi)發(fā)的稱(chēng)為「μF傳感器」的熱式流量傳感器，是搭載有高級執行器控制技術(shù)的氣體用質(zhì)量流量控制器。

利用μF傳感器的特長(cháng)，實(shí)現了寬廣流量控制范圍的快速響應。

最適合應用于工廠(chǎng)生產(chǎn)工序的玻璃、釬焊加工的火焰控制等以前的質(zhì)量流量控制器控制困難的低壓供給燃氣的流量控制。

豐富的產(chǎn)品種類(lèi)，擴大了可使用的應用范圍。

質(zhì)量流量檢測

與空氣、燃氣的使用溫度、壓力無(wú)關(guān)，可測量換算成標準狀態(tài)下的流量。

（* 標準狀態(tài)下的流量是指在1個(gè)大氣壓、0°C（或20°C）時(shí)的體積流量。）

寬廣的檢測范圍

相對于最大測量流量的低流量區域，一般的氣體流量計都難于檢測，通過(guò)搭載μF傳感器，可實(shí)現寬廣范圍的測量、控制。實(shí)現了質(zhì)量流量計CMS的可調比100：1、大流量質(zhì)量流量計CML的可調比160：1（測量范圍為1,280：1）的高可調比！

最適合于空氣及燃氣的使用量的管理、及節能的漏氣管理。

快速響應

細微、熱容量非常小的MEMS傳感器直接與氣體接觸進(jìn)行檢測，實(shí)現了快速響應。

低圧損構造

μF傳感器設置在流路的壁面上，具有低壓力損失的特點(diǎn)。最適合于低圧氣體流量的檢測、控制。

高精度

μF傳感器隨時(shí)間的特性變化非常小，能長(cháng)期保持高精度。

各種功能

通過(guò)控制機器積累的微電腦的技術(shù)，搭載了以前的質(zhì)量流量計沒(méi)有的各種功能。

瞬時(shí)／累積流量顯示、燃氣種類(lèi)切換功能、上下限報警輸出、模擬輸出、累積脈沖輸出、通信功能等　（* 因產(chǎn)品而異）

種類(lèi)豐富的產(chǎn)品

根據使用用途，備有從5mL/min型號到500L/min型號的寬廣流量區域的產(chǎn)品。